用光驅動流體打造三維微奈米結構

三維(3D)微奈米結構的製造技術,是建構微型機器人、微致動器、超材料(metamaterial)與微光子元件的基礎。其中,雙光子聚合技術(two-photon polymerization,2PP)是目前最先進的三維微奈米製造方法,其解析度可達100奈米,且能建構出複雜的三維微結構。然而,2PP有一個限制,就是其相容性幾乎只局限於可交聯的聚合物。雖然已有研究人員嘗試突破此一瓶頸,例如將具有光化學活性的配體接到無機膠體奈米晶體上,或是將金屬配位錯合物引入可交聯單體中,但這些方法仍舊只適用於特定材料。另一種思路是直接利用光學組裝(optical assembly)技術,透過光梯度力(optical gradient forces)或光控溫度場等光-物質交互作用,逐顆將懸浮在溶液中的粒子捕捉並定位至指定位置。然而此類方法的問題有三:其一,大多只能建構二維結構,難以實現真正的三維立體組裝;其二,效率極為低落,每分鐘僅能組裝10至1,000顆粒子;其三,對粒子尺寸、表面性質及溶劑組成有嚴格要求,使其難以廣泛應用於不同材料。換言之,科學界目前仍缺乏一種既不受材料限制、又能精確操控三維空間結構的通用製造策略。

近日,德國馬克斯普朗克研究所的研究團隊,成功研發出「光流體三維微奈米製造技術(optofluidic 3D micro-/nanofabrication)」。他們先以2PP列印出帶有開口的中空三維聚合物模板,將其浸入含有奈米粒子的液體後,再以飛秒雷射照射模板開口附近,誘發局部高溫及強烈對流(流速可達每秒數毫米),將粒子帶入模板並堆積填滿;最後以氧氣電漿去除模板,即得到獨立的三維微結構。研究團隊成功以金屬(銀)、多種金屬氧化物(TiO₂、WO₃、Fe₃O₄等)、鑽石奈米粒子及CdTe量子點組裝出三維微結構,效率達每分鐘約10⁵顆粒子。研究人員還進一步展示了一種應用:整合TiO₂、Au、Pt和Fe₃O₄四種材料的L形微機器人,能分別在磁場、紫外光和雙氧水三種刺激下,展現三種截然不同的運動模式。

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